Графит особой чистоты
Применение
Изделия из него применяются в качестве технологической оснастки при получении полупроводниковых приборов и веществ особой чистоты не вступающих в химическое взаимодействие с углеродом.
Коэффициент
| Проект обнаружения | Коэффициент | ||
| EA-1 | EA-2 | EA-3 | |
| Средняя степень детализации, мм | ≤ 0.045 | ≤ 0.045 | ≤ 0.045 |
| Плотность, g/cm3 | ≥1.65 | ≥1.77 | ≥1.82 |
| Удельное сопротивление, мкОм | ≤ 12.0 | ≤ 12.0 | ≤ 12.0 |
| Прочность на изгиб, МПа | ≥25.0 | ≥30.0 | ≥35.0 |
| Копрессионая прочность, МПа | ≥45.0 | ≥55.0 | ≥60.0 |
| Модуль Юнга, Гпа | ≤ 9 | ≤ 9.5 | ≤ 10.0 |
| Коэффициент теплового расширения (100-600℃), ×10-6/℃ | / | ≤3.0 | ≤3.2 |
| Содержание золы, % | ≤0.2 | ≤0.1 | ≤0.1 |
Примечание: вышеуказанная характеристика примерная, не точная
Спецификация
| 900*310*310 | 900*310*210 | 620*510*210 |
| 550*410*410 | 510*310*210 | 510*310*180 |
| 510*310*150 | 770*210*210 | 770*210*150 |
| 670*210*210 | 670*210*150 | 670*210*125 |
| 430*260*150 | 430*260*125 | 380*300*180 |
| 380*300*150 | 380*280*180 | 380*280*150 |
| 490*140*140 | 430*125*125 | 330*280*150 |
| DIA260*520 | DIA250*380 | DIA250*250 |
| DIA180*310 | DIA180*250 | / |
Примечание. В вышеприведенном диапазоне спецификация может быть выполнена на заказ.
